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半導(dǎo)體電子行業(yè)
Electron Industry
半導(dǎo)體電子行業(yè)
紅外測(cè)溫廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電子行業(yè)，和傳統(tǒng)的熱電偶等接觸式測(cè)溫儀相比，紅外測(cè)溫具有響應(yīng)時(shí)間快、屬于非接觸無(wú)損檢測(cè)(不會(huì)對(duì)被測(cè)目標(biāo)表面產(chǎn)生任何影響)、能夠測(cè)量從點(diǎn)到面的溫度及熱分布、適用不斷移動(dòng)的物體、使用安全且工作壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
紅外測(cè)溫儀在半導(dǎo)體電子行業(yè)例如精密集成電路檢測(cè)、晶圓CMP工藝、晶硅原料生產(chǎn)、芯片設(shè)計(jì)研發(fā)制造等眾多領(lǐng)域得到普遍使用和高度認(rèn)可。
近年來(lái), 半導(dǎo)體電子行業(yè)已成為國(guó)家大力扶持、巨額投入的核心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，深圳歐普士紅外測(cè)溫產(chǎn)品持久助力半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展。
成功案例一
2021年8月 安徽某著名高校-精密集成電路板檢測(cè)
客戶收益：
使用深圳歐普士高清顯微紅外熱像儀, 清晰顯示電路板的溫度分布、快速發(fā)現(xiàn)并準(zhǔn)確定位熱缺陷，顯著提高在PCBA布局優(yōu)化、散熱效果分析、電路能耗設(shè)計(jì)等方面的效能。
客戶需求：
檢測(cè)最小0.5mmx0.5mm電路板元器件,清晰呈現(xiàn)表面溫度分布熱圖并排查熱缺陷故障位置。
解決方案：
選用深圳歐普士高清顯微熱像儀，最小分辨率28um, 標(biāo)配安裝支架調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)?！翱匆?jiàn)并看清”熱分布，非接觸檢測(cè)方式，不會(huì)對(duì)貴重的精密集成電路產(chǎn)生任何細(xì)微損傷。
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成功案例二
2022年1月 浙江某半導(dǎo)體電子設(shè)備制造公司
客戶收益：
通過(guò)采用深圳歐普士紅外測(cè)溫儀和熱像儀，實(shí)時(shí)精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)CMP過(guò)程中的拋光膠體溫度及熱均衡分布狀況，確保全制程始終處于最佳的工藝要求，達(dá)到最理想的晶圓平坦化拋光效果。
客戶需求：
化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是半導(dǎo)體集成電路制造過(guò)程中實(shí)現(xiàn)晶圓表面平坦化的關(guān)鍵工藝，需要在此過(guò)程中實(shí)時(shí)精準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)膠溫度以及晶圓表面的熱均勻性。
解決方案：
深圳歐普士提供的緊湊型測(cè)溫儀和熱像儀，非常適合集成于CMP設(shè)備系統(tǒng)模組，實(shí)時(shí)輸出反饋信號(hào)到系統(tǒng)主機(jī)進(jìn)行聯(lián)動(dòng)操作。
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